Стр. 20
Плазменная обработка является часто используемой технологической операцией при изготовлении многих изделий микро- и наноэлектроники, фотоники, оптики, биомедицины и др. При различных режимах возможна очистка, активация, травление и модификация поверхности обрабатываемых материалов и изделий. В установках с повышенной мощностью (более 500 Вт) электроды должны быть водоохлаждаемыми, при этом для отработки технологических режимов желательно обеспечить стабильную температуру охлаждающей воды с помощью чиллера. В статье приведена информация о линейке установок плазменной обработки MPC от российской компании GN tech. На примере модели MPC-F1-18 с мощностью разряда 1000 Вт продемонстрирован технологический диапазон, позволяющий технологам назначать базовые режимы плазменной обработки.
Вы успешно зарегистрированы. Перейти в личный кабинет

Бесплатная подписка
Для оформления бесплатной подписки на журнал «Современная электроника» вам необходимо заполнить анкету подписчика.
Продолжить Пять последних номеров электронной версии журнала
доступны только авторизованным пользователям
Для чтения электронной версии журнала
зарегистрируйтесь или
авторизуйтесь
(если зарегистрированы)
Для чтения печатной версии журнала
купите его
(если зарегистрированы)
Авторизованные пользователи могут читать электронную версию журнала БЕСПЛАТНО
Для чтения журнала
подпишитесь,
или
купите его
Специалистам в области электронных компонентов
подписка предоставляется БЕСПЛАТНО

БЕСПЛАТНАЯ ПОДПИСКА
на электронную версию
Для бесплатного доступа
к электронной версии журнала
«Современная электроника» вам необходимо зарегистрироваться на сайте.
Подписка на ПЕЧАТНУЮ версию с гарантированной доставкой.
