Очередной заказчик компании «Диполь», производящий гибридные микросхемы на поликоровых подложках, ввёл в эксплуатацию современный универсальный комплекс оборудования для фотолитографических процессов. Комплекс, в запуске которого принимали участие специалисты компании «Диполь», состоит из универсальной установки совмещения-экспонирования AG500-6N-ST, центрифуги для нанесения фоторезиста серии Spin 150i с автоматическим дозатором, термоплиты для сушки фоторезиста HT-150S, вытяжного шкафа и вспомогательного оборудования.Данный комплекс позволяет решать широкий спектр задач фотолитографии. Вытяжной шкаф и установленные в него центрифуга и термоплита обеспечивают нанесение фоторезиста на подложки с последующей сушкой с производительностью порядка 400 подложек в смену. Благодаря автоматическому дозатору, центрифуга создаёт воспроизводимое и равномерное нанесение фоторезиста, а термоплита с высокой однородностью распределения температуры по поверхности позволяет равномерно прогреть слой фоторезиста, что обеспечивает его хорошую адгезию к поверхности подложки.
Затем следует операция экспонирования. Универсальная установка совмещения-экспонирования AG500-6N-ST, оборудованная специальной оснасткой, разработанной для подложек размером 60 × 48 мм, действует в полуавтоматическом режиме. От оператора требуется только загрузить подложку и произвести небольшую подстройку меток совмещения подложки и фотошаблона. Процесс выполняется по нажатию одной кнопки. В среднем процесс экспонирования одной подложки занимает меньше минуты. Установка снабжена опциональным модулем обратного оптического совмещения, поэтому может работать с двусторонними платами.
При необходимости AG500-6N-ST работает и с круглыми полупроводниковыми пластинами диаметром 2″, 3″, 4″ и 6″. Для этого надо лишь заменить шаблонодержатель и подложкодержатель. Процедура занимает менее трёх минут. Таким образом, данная установка в полном объёме удовлетворяет все текущие и перспективные потребности фотолитографического производственного участка.
www.dipaul.ru
Тел.: (812) 702-1266
Комментарии