«Росэлектроника» уменьшила размер СВЧ-резонаторов

Специалисты «Росэлектроники» разработали технологию изготовления тонкоплёночных СВЧ-резонаторов, позволяющую в несколько раз сократить вес и размеры микроэлектронных устройств.

Метод, разработанный в Омском НИИ приборостроения (ОНИИП), позволяет выпускать СВЧ-резонаторы с брэгговским отражателем на основе плёнок оксида цинка и нитрида алюминия с добротностью 300–350 и 500–650 единиц, соответственно, в едином технологическом цикле на частоту 2–5 ГГц, а в перспективе – до 20 ГГц.

Опытные образцы устройств по ряду электрических и технологических характеристик превосходят российские и зарубежные аналоги. Например, их размеры составляют всего 1,5 × 1,5 × 0,6 мм.

Открытие было сделано в ходе исследований влияния конструктивных и технологических решений на параметры тонкоплёночных СВЧ-резонаторов, применяемых в устройствах частотной селекции и стабилизации частоты радиоэлектронной аппаратуры. В результате был разработан особый способ напыления плёнок алюминия с малой шероховатостью поверхности.

Брэгговский отражатель (или брэгговское зеркало) – оптический элемент, представляющий собой структуру из чередующейся последовательности слоёв двух различных оптических материалов. Наиболее часто используется конструкция в виде четвертьволнового зеркала, где толщина каждого оптического слоя соответствует четверти длины волны, для которой разработано зеркало. Последнее условие работает для нормальных углов падения (90°). Для больших углов падения необходимы более толстые слои.

www.rostec.ru


Поделиться:


Комментарии

Текст сообщения*
Защита от автоматических сообщений
 


На данном сайте используются cookie для сбора информации технического характера и обрабатывается Ваш IP-адрес. Продолжая использовать этот сайт, вы даете согласие на использование файлов cookies.