Чистая зона для фотолитографии

Чистая зона для фотолитографии Специалисты ЗАО «Ламинарные системы» спроектировали и изготовили чистую зону класса 5 ИСО по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 для организации процесса фотолитографии.

Специалисты ЗАО «Ламинарные системы» спроектировали и изготовили чистую зону класса 5 ИСО по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 для организации процесса фотолитографии.

Особенностью данного проекта является наличие разнотипных ограждающих конструкций, неактиничное (жёлтое) освещение в рабочей зоне и защита от несанкционированного доступа.

Часть ограждающих конструкций чистой зоны выполнена из металла с порошковым покрытием, не бликующим и не выделяющим пыли.

Другая часть представляет собой непрозрачные антистатические ПВХ-ламели, которые позволяют интегрировать в рабочую зону необходимое технологическое оборудование. Остальные ограждающие конструкции выполнены из стекла с плёночным покрытием жёлтого цвета для защиты от ультрафиолета.

Управление чистой зоной осуществляется с помощью сенсорной панели, на экране которой отображается актуальная информация о производительности, скорости воздушного потока, степени загрязнённости фильтров и т.п. Электронная система доступа с помощью электромагнитного ключа ограничивает проход в рабочую зону неавторизованного персонала. Микропроцессорная система управления чистой зоной, как и сенсорная панель, являются собственной разработкой специалистов предприятия.

15-летний опыт в сфере обеспечения технологической чистоты воздушной среды, оригинальные конструкторские разработки, научно-техническое сотрудничество с ведущими российскими НИИ, современное оснащение производства позволяют специалистам ЗАО «Ламинарные системы» проектировать и изготавливать узкоспециализированное оборудование, способное обеспечить организацию технологического процесса на уровне мировых стандартов.

www.lamsys.ru

Тел.: +7 (3513) 255-255

На данном сайте используются cookie для сбора информации технического характера и обрабатывается Ваш IP-адрес. Продолжая использовать этот сайт, вы даете согласие на использование файлов cookies.