Международная октябрьская конференция «Микро- и наноэлектроника – 2014»

Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2014» (ICMNE-2014), включающая расширенную сессию «Квантовая информатика – 2014» (QI-2014), будет проводиться с 6 по 10 октября 2014 г. в д/о «Ершово», Звенигород, Московская обл. Она продолжает серию Всероссийских конференций «MНE–1999», «MНE–2001», «КИ–2002» и международных конференций «ICMNE–2003», «QI–2004», «ICMNE–2005», «QI–2005», «ICMNE–2007», «QI–2007», «ICMNE–2009», «QI–2009», «ICMNE–2012», «QI–2012».

В рамках конференции проводится выставка диагностического и технологического оборудования для микроэлектроники.

Рабочий язык конференции ICMNE-2014 – английский.

Тематика:

Материалы и пленки для микро- и наноэлектроники:

• КНИ, Si, SiGe, A³B⁵, A²B⁶,
• тонкие пленки, high-k диэлектрики, low-k диэлектрики,
• материалы для металлических затворов, контактов и систем металлизации микро- и наноразмерных приборов,
• магнитные материалы, наномагнетики,
• нанотрубки, графен,
• материалы для оптоэлектроники, солнечной энергетики, метаматериалы.

Технологии микро- и наноэлектроники, технологическое оборудование:

• Суб-100 нм литография: DUV, EUV, электронная и ионная литография, наноимпринт,
• плазменные и ионно-пучковые процессы и технологии для микро- и наноэлектроники,
• ионная имплантация: пучковая и плазменно-иммерсионная,
• процессы CVD, молекулярная эпитаксия.

Метрология:

• методы мониторинга технологических процессов, определение момента окончания процессов,
• методы диагностики и характеризация микро- и наноструктур.

Физика и технология микро- и наноразмерных приборов:

• нанотранзисторы: МДП, одноэлектронные, тонкопленочные и другие,
• интегральные устройства памяти, мемристоры,
• магнитные микро- и наноструктуры,
• приборы спинтроники,
• сверхпроводящие микро- и наноприборы и устройства,
• приборы оптоэлектроники, фотоники,
• микро- и наноэлектромеханические системы (MEMS, NEMS).

Моделирование:

• моделирование технологических процессов,
• моделирование микро- и наноэлектронных приборов.

КНИ и низкоразмерные структуры:

• технология и эксперименты,
• приборы,
• теория и моделирование.

Квантовая информатика:

• квантовые компьютеры: теория и эксперимент,
• квантовые измерения,
• квантовые алгоритмы,
• квантовая связь.

Icmne.ftian.ru