Intel заинтересовалась комплементарной литографией

Intel заинтересовалась комплементарной литографией

Компании Intel и TSMC, являющиеся крупнейшими производителями чипов, делают всё возможное для скорейшего внедрения так называемой EUV-литографии.

Литография этого вида использует свет экстремального ультрафиолетового диапазона с длиной волны порядка 13,5 нм.

Intel и TSMC намерены начать выпуск микросхем с использованием EUV-литографии по 7- и 10-нм проектным нормам в 2017 году. Они планировали освоить этот перспективный вид литографии гораздо раньше, но определённые технологические трудности внесли свои коррективы.

Как отметил главный инженер по литографии Intel Марк Филипс (Mark Philips), производство чипов становится игрой подсчёта каждого нанометра и успешная реализация этого не возможна без скрупулёзного и тщательно математически обоснованного подхода. Инженер рассказал о новом инструменте для анализа, разрабатываемом известной в области литографического оборудования компанией ASML. Этот инструмент предназначен для обработки ошибок позиционирования элементов в чипах следующего поколения. Описание только одного аспекта устройства занимает больше десяти страниц математическим языком.

Новый инструмент может стать ключевым в так называемой комплементарной литографии, представляющей собой гибридный подход. Суть подхода состоит в одновременном использовании существующих иммерсионных систем для одних видов работы и новых EUV-систем для других. В настоящее время между специалистами ведётся большая дискуссия, стоит ли отрасли развиваться в этом направлении.

Любопытно, в 2012 году Intel вложила в компанию ASML более $4 млн. TSMC также инвестировала в неё несколько миллиардов долларов. В отличие от Intel, TSMC больше склонна к использованию «чистой» EUV-литографии.

www.3dnews.ru со ссылкой на www.eetimes.com

На данном сайте используются cookie для сбора информации технического характера и обрабатывается Ваш IP-адрес. Продолжая использовать этот сайт, вы даете согласие на использование файлов cookies.

Яндекс.Метрика