Открытие, способное перевернуть представления о технологиях микроэлектроники

Принципиально новая методология формирования мельчайших структур в микроэлектронике позволяет сократить время производства на три порядка и существенно удешевить производство.

Вместо того чтобы отталкиваться в производстве от кремниевой пластины или иной подложки, исследователи предложили выращивать микроструктуры из свободной взвеси (суспензии) мельчайших частиц золота с характерными размерами нанометрового диапазона в потоке газа. Для новой технологии авторами предложено название «аэроэпитаксия». Вместо «вырезания» полупроводниковых структур в кремниевой подложке или на ином полупроводнике, микроэлектронные структуры формируются атомными слоями слой за слоем в условиях контролируемой «самосборки». Формируемые структуры получили название «нанопроволочки» или «наностержни». Идеология использования подобных микроэлектронных структур возникла в 2002 году, исследования в этой области проводились в университетах Лунда, Беркли и Гарварда.

Автор предложенной методологии – Ларс Самюэльсон (Lars Samuelson), профессор Университета г. Лунд (Швеция), глава университетского консорциума по исследованиям нанометровых структур (Nanometre Structure Consortium) – полагает, что новая технология достигнет стадии коммерциализации через 2–4 года. Прототип для производства солнечных батарей будет готов уже через два года.

С момента первых опытов технология была усовершенствована, запатентована и начались дальнейшие исследования. В своей статье в журнале «Nature» исследователи описали возможности управления процессом роста за счёт варьирования температурой, временем процесса, размером наночастиц золота.

Недавно учёные построили прототип ростового оборудования на базе специально спроектированной печи. Используя «поточную линию» на основе набора печей, учёные намерены формировать своеобразные «нанопроволочки» (nanowires) и на их основе создавать разные образцы полупроводниковых структур, таких, как, например, p-n диоды. Дальнейшее развитие привлекательных черт новой технологии должно идти по пути сокращения стоимости производства за счёт отказа от полупроводниковой подложки.

Сегодня исследователи работают над созданием технологии самосборки «нанопроволочек» в заданной последовательности на специально подготовленной поверхности. Это может быть стекло, металл или иной материал, в зависимости от поставленной цели производства.

www.sciencedaily.com

На данном сайте используются cookie для сбора информации технического характера и обрабатывается Ваш IP-адрес. Продолжая использовать этот сайт, вы даете согласие на использование файлов cookies.