В микроэлектронной промышленности проблема чистоты воздуха при изготовлении высокотехнологичных продуктов решается с помощью комплексов чистых помещений. Их применение обеспечивает необходимый класс чистоты в рабочей зоне, минимизируя производственный брак.В микроэлектронной промышленности проблема чистоты воздуха при изготовлении высокотехнологичных продуктов решается с помощью комплексов чистых помещений. Их применение обеспечивает необходимый класс чистоты в рабочей зоне, минимизируя производственный брак.
Одним из эффективных способов снижения затрат при создании комплексов чистых помещений является зонирование чистого помещения на локальные участки, которые могут отличаться друг от друга как классом чистоты воздушной среды, так и функциональным назначением (только защита продукта либо защита как продукта, так и окружающей среды). Таким образом, внутри чистого помещения низкого класса чистоты над критичными местами технологического процесса могут быть созданы чистые зоны с более высоким классом чистоты, чем помещение, в котором они размещены.
Чистая зона – это локальная пространственная конструкция, построенная и используемая таким образом, чтобы свести к минимуму поступление, выделение и удержание частиц внутри зоны. Конструктивно чистая зона выполняется как самостоятельное изделие по принципу «помещение в помещении».
Сфера применения чистых зон очень широка:
- электроника;
- производство полупроводников;
- микромеханика;
- точное приборостроение и механика;
- производство оптических элементов высокого класса;
- космическая и авиационная промышленность;
- производство прецизионных изделий;
- био- и нанотехнологии;
- фармацевтическое производство;
- производство медицинского оборудования;
- производство парфюмерии и косметики;
- производство продуктов питания, и многое другое.
Выделяют два типа чистых зон: мобильные и стационарные. Мобильные чистые зоны изготовлены таким образом, чтобы можно было перемещать их внутри помещения. Как правило, это зоны 5(6) классов чистоты. Конструкция стационарных чистых зон жёстко крепится к полу, стенам, потолку или другим силовым конструкциям помещения.
Стационарная чистая зона может быть надстроена или интегрирована в различное специализированное технологическое оборудование.
Индивидуальным проектированием и производством комплексов чистых помещений и чистых зон уже почти 15 лет занимается ЗАО «Ламинарные системы». Все производимые компанией комплексы после монтажа у заказчика проходят аттестацию по ГОСТ Р ИСО 14644-3-2007.
Аттестация чистых зон проводится совместно с представителем заказчика специалистами ЗАО «Ламинарные системы», которые прошли специальное обучение и имеют соответствующую квалификацию, а также обладают опытом работы по аттестации комплексов чистых помещений и чистых зон на предприятиях электронной, оптико-механической и авиакосмической промышленности.
Целью аттестации является:
- проверка работоспособности и правильного функционирования чистой зоны в cоответствии с описаниями эксплуатационных документов;
- проверка целостности установленных в чистой зоне НЕРА-фильтров и мест их герметизации;
- проверка производительности чистой зоны по чистому воздуху и кратности воздухообмена;
- проверка заявленного класса чистоты в рабочей зоне изделия по ГОСТ ИСО 14644-1-2002.
Для проведения аттестационных работ специалисты ЗАО «Ламинарные системы» оснащены всеми необходимыми измерительными приборами и оборудованием. По результатам испытаний и всех проверок составляются отчёты и квалификационные протоколы проведения приёмочных испытаний. Эти документы включаются заказчиком в отчётную документацию предприятия по аттестации производства, а также могут быть использованы для разработки корректирующих мероприятий, если характеристики технологического оборудования, установленного в чистой зоне, не соответствуют требованиям по чистоте.
Завершающим этапом данных работ является обучение и консультации обслуживающего персонала заказчика по вопросам эксплуатации и правил работы в чистой зоне.
Тел.: 8 (3513) 544-744 (многоканальный)
Комментарии