Чистая зона для микроэлектроники

Чистая зона для микроэлектроники По заказу одного из российских научных институтов, специалистами ЗАО «Ламинарные системы» была разработана и изготовлена новая конструкция чистой зоны класса чистоты 5ИСО по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 для производства материалов особой степени чистоты.

По заказу одного из российских научных институтов, специалистами ЗАО «Ламинарные системы» была разработана и изготовлена новая конструкция чистой зоны класса чистоты 5ИСО по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 для производства материалов особой степени чистоты.

Особенность данной конструкции заключается в том, что в ее состав входят:

  • рабочее помещение, соответствующее классу 5 ИСО по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 в построенном состоянии по рассматриваемому размеру частиц >=0,5 мкм;
  • вспомогательное помещение, соответствующее классу 7 ИСО по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 в построенном состоянии по рассматриваемому размеру частиц >=0,5 мкм;
  • шлюз с обдувом;
  • помещение тамбура;
  • вытяжной шкаф, интегрированный в рабочее помещение зоны.

Как и во всех изделиях данного класса чистоты, потолок этой чистой зоны состоит из сплошного набора фильтровентиляционных модулей, забирающих воздух из помещения установки. Чистота внутри рабочего пространства зоны обеспечивается путём выдавливания загрязнений потоком однонаправленного очищенного воздуха (эффект воздушного поршня). По периметру потолка закреплены элементы, направляющие воздушный поток, которые выполнены из металлических сэндвич-панелей со специальным покрытием. Все сочленения изделия уплотнены химически стойкой резиной или герметизированы.

Ввод в эксплуатацию новой чистой зоны позволил уменьшить затраты на отделку капитальных стен, потолков, полов и получить в обычном производственном помещении чистую зону, которая по аналогии представляет комплекс особо чистых помещений.

Специалисты ЗАО «Ламинарные системы» имеют 15-летний опыт создания сложных инженерных систем в области чистых помещений и чистых зон. Оригинальные конструкторские и технологические разработки, уникальные методики тестирования продукции, обширная производственная база и собственная испытательная лаборатория, оснащённая современным измерительным и тестовым оборудованием, позволяют предприятию учитывать практически все запросы потребителей.

Чистые зоны производства ЗАО «Ламинарные системы» имеют ряд конструктивных особенностей и конкурентных преимуществ. Благодаря специальной запатентованной конструкции выходного устройства фильтровентиляционных модулей, чистые зоны имеют очень ровный вектор скоростей по всей поперечной площади зоны даже при очень больших размерах. Это позволяет гарантированно создавать однонаправленный (ламинарный) поток нисходящего воздуха, что крайне важно для чистых зон 5-го класса ИСО по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 и выше. Кроме того, замена выходного НЕРА-фильтра при такой конструкции не требует специальных навыков и может быть осуществлена одним человеком без необходимости привлечения сторонних специалистов.

«Умная» система управления AIS LS, являющаяся также разработкой специалистов предприятия, самостоятельно отслеживает загрязнённость фильтров, установленных в фильтровентиляционных модулях, автоматически повышая при необходимости скорость вращения вентиляторов, и информирует потребителя обо всех неисправностях системы, а также о необходимости замены фильтров.

Модульность конструкций производимых зон, с учётом наработанных типовых узлов, позволяет в минимальные сроки решать самые разнообразные задачи. При технологической необходимости произвольное количество чистых зон может быть объединено в единую систему, управляемую с одного пульта с возможностью диспетчеризации параметров каждой из зон по отдельности.

Внутри чистой зоны может быть установлено любое оборудование, в том числе ламинарные боксы и вытяжные шкафы, также производимые предприятием. Установленные в ряд ламинарные укрытия могут составлять единую сборочную линию. Внутрь оборудования в этом случае засасывается чистый воздух необходимого класса, что исключает контаминацию продукта с примесями из окружающей воздушной среды.

ЗАО «Ламинарные системы» входит в состав холдинга Lamsystems, выпускающего продукцию для производств и лабораторий с высокими требованиями к чистоте воздушной среды – боксы микробиологической безопасности I, II и III классов, ламинарные укрытия с вертикальным нисходящим потоком воздуха, вытяжные шкафы общего назначения и для химических лабораторий, изделия индивидуального проектирования – чистые зоны и чистые помещения, специальная одежда для медицины и высокотехнологичных производств, где есть необходимость защиты продукта и окружающей среды от загрязнений, источником которых может являться человек.

На всю выпускаемую холдингом продукцию есть регистрационные удостоверения, подтверждающие соответствие изделий заявленным техническим и эксплуатационным характеристикам.

www.lamsys.ru

Тел./факс: (3513) 544-744

На данном сайте используются cookie для сбора информации технического характера и обрабатывается Ваш IP-адрес. Продолжая использовать этот сайт, вы даете согласие на использование файлов cookies.